測量顯微鏡的測量可以是單軸的、維度平面的測量也可以是維度空間坐標的測量衡量的時候先專注，拿分，再算罰分。讀數來源于標尺，即光柵系統，調焦和準直依賴于光學系統，還有一個照明光源，它單純影響測量效果和精度，因為如果基于圖像技能測量的儀器不能有效正確照明，測量結果就會明顯偏離其真實尺寸。除上述因素外，情境前提也是限制測量精度的一個不可忽視的因素。

基于以上分析，我們可以綜合以下誤差來源：

光柵計數尺的誤差；

工作臺移動時的直線度、角擺帶來的誤差；

工作臺兩個測量軸垂直度誤差；

顯微鏡光軸與工作臺不垂直引起的誤差；

由于測量的室溫與校準所需的參考溫度存在偏差而導致的誤差；

光源照明前提變化引起的聚焦和對準誤差。

在這些因素中，前段所說的誤差是硬件誤差，在儀器生產過程中已經形成并固定下來，無法改變，必須通過控制測量室的溫度和等溫過程來減小溫度影響引起的誤差。后一個術語經常被忽略在實際測量中，當光源的照明前提發生變化時，被測工件的照明效果和圖像質量都會受到影響重要原因是測量顯微鏡的圖像是通過CCD繪制的，雖然CCD有自動調節增益的作用，但當亮度過高時，它未能起到調節作用，導致被測工件的圖像縮小，而當亮度過低時，工件的圖像變大。

在測量具有重復圖案的布局之間的距離時，只要在整個測量過程中照明前提保持不變，就可以忽略這種影響，因為每個重復的圖案布局同時變大或變小，距離的測量簡單地忽略了圖像變形的影響，例如測量一個玻璃尺、網格板刻線間距;除了這種特殊情況，比如測量圓的直徑、工件的長度和寬度都會帶來明顯的誤差。

用圖像測量工件樣圖的幾何尺寸時，光照前提的變化會簡單地測量圖像的測量尺寸，比如線寬、圓直徑等幾何位置都是次要的，因為得到的邊界點就是產品需求檢驗的邊界在高精度測量中，這是導致測量不確定度增加的一個環節因素，應該引起足夠的重視。